產(chǎn)品目錄 Product catalog
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北京恒奧德儀器儀表有限公司
聯(lián)系人：王蕊
公司郵箱：2272048995@qq.com
辦公地址：北京市海淀區(qū)富海中心
恒奧德儀器智能程控勻膠機旋轉(zhuǎn)勻膠機操作步驟 |
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| 詳細介紹 | ||||||||||||||||
恒奧德儀器智能程控勻膠機旋轉(zhuǎn)勻膠機操作步驟
通過高速旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力使膠液均勻涂覆在基片表面，主要用于微電子、半導體等工藝。 ? 操作步驟 ?基片固定?：通過真空吸附將基片固定在承片臺，確保旋轉(zhuǎn)時基片居中。 ? ?滴膠?：將光刻膠滴在基片中心或邊緣，滴膠量根據(jù)膠液粘度和基片尺寸調(diào)整（通常覆蓋基片直徑的50%）。 ? ?低速預旋轉(zhuǎn)?：以500轉(zhuǎn)/分左右的速度旋轉(zhuǎn)基片，使膠液初步鋪展。 ? ?高速旋轉(zhuǎn)?：加速至1500-6000轉(zhuǎn)/分，通過離心力將膠液均勻涂覆，轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性直接影響膜厚均勻性。 ? ?去除多余膠液?：通過上下刮邊技術(shù)清除基片邊緣殘留膠液。 ? ?烘烤?：按預設(shè)溫度和時間進行烘干，排除溶劑并固化涂層。 ? 關(guān)鍵參數(shù) ?轉(zhuǎn)速?：直接影響膜厚，通常轉(zhuǎn)速越高、時間越長，膜厚越薄，誤差需控制在±5nm以內(nèi)。 ? ?加速度?：影響不同粘稠度膠液的鋪展效果，需根據(jù)膠液特性調(diào)整。 ? ?烘烤工藝?：溫度、時間需匹配膠液揮發(fā)速率，避免氣泡或針孔。 ? 不同型號設(shè)備可通過編程控制轉(zhuǎn)速、加速度、烘烤條件等參數(shù)，實現(xiàn)自動化操作 |
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